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Product Center主要技术指标 型号 D07-19B 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 2 准确度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 线性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 D07-19BM质量流量控制器
D07-19BM质量流量控制器
主要技术指标 型号 D07-19B 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 2 准确度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 线性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 重复精度 ±0.2 % F.S. 5 响应时间
D07-19BM质量流量控制器 特 点: ★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,标准机械接头 ★兼容用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
型号 D07-19B 7 耐压 10 MPa (1450.4 psig) 8 工作环境温度5 ℃ ~ 45 ℃ 注意: |