采购匀胶机的注意要点

匀胶机主要应用于微机电系统的微加工、生物、材料、半导体、制版、新能源、薄膜、光学及表面涂覆等领域或样件较小无法使用提拉涂膜或刮膜的方式进行涂膜的基片的涂膜。通常固定样品的方式有两种：真空吸盘固定样品、带卡槽的样品盘固定样品。用真空吸盘固定样品时需要有抽真空的装置，真空吸附适用于固定表面光滑，平整度好，受真空吸力不变形的基片；带卡槽的样品盘可用于质软、形状不规则的、尺寸较大的基片的固定。

　　类型

　　匀胶机又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。

　　匀胶机选购

　　从其原理来说，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

　　材质的选择

　　对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

　　旋转速度

　　转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有标准认定。建议购买转速控制方面有认定标准的，比如：美国NIST标准等。

　　真空吸附系统的构造

　　真空泵一定要无油的，压力标定准确，生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这一点许多国外的匀胶机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。